氣冷羅茨螺桿泵真空機組是將真空泵與相應的真空元件按其性能要求組合起來構成的抽氣裝置。其特點是結構緊湊,安裝使用方便。
 

　　羅茨螺桿泵能工作在中真空范圍，是較適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續性，在實際運用中這是經常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強，傳統的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的，預抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。
 

　　羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有*的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優異的高真空性能，同時在中真空范圍也有*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的氣冷羅茨螺桿泵真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預抽負擔。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經過時間壓力降低一個數量級的規律，因此，機組可以具有很高的抽氣效率。簡化氣冷羅茨螺桿泵真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現實的。這就使規模化應用的真空機組得到大大的簡化。