真空泵是一種通過排除容器內的氣體而將其壓力降至較低水平的設備，其中滑閥真空泵是其中一種常見的真空泵類型。
在滑閥真空泵工作時，首先將機內空間與外界隔離，打開排氣閥的同時關閉吸氣閥，此時空室通過排氣閥將氣體抽出，空室內部壓力隨著氣體的排出而降低，同時前限壓力和相應的有效抽速提高。
隨后，關閉排氣閥，打開吸氣閥。此時，由于外界氣體的壓力高于空室內部的壓力，外界氣體自然進入空室，壓力和抽速均隨之降低。為了保證這一周期的正常進行，必須保證排氣閥的關閉時間短于吸氣閥的開啟時間，并且不能有殘余氣體留在空室內，否則將會影響下個周期的工作。
滑閥真空泵在不同的使用場景下，其工作原理會有所不同。例如在被用于薄膜技術或半導體制造過程中，滑閥真空泵需要進行調整以提高其性能和穩(wěn)定性。
此外，滑閥真空泵通常需要與其他真空設備一起使用，例如油封泵或分子泵，以進一步提高其工作效率。不同設備之間的組合使用將有所不同，取決于特定的工作環(huán)境和要求。
