一、核心結構組成
1、氣冷羅茨真空泵模塊
采用一對精密嚙合的“8”字形轉子，通過齒輪反向同步旋轉，轉子間及與泵殼間隙嚴格控制在0.1~0.8mm；
泵體集成冷卻器組件，將冷卻氣體引入吸氣腔，直接降低氣體壓縮產(chǎn)生的熱量；
無油潤滑設計，無需密封油或潤滑劑，避免介質污染。
2、液環(huán)真空泵模塊
葉輪偏心安裝于泵腔，旋轉時形成閉合液環(huán)(常用水或有機溶劑)，分割出周期性變化的“氣腔”；
液體循環(huán)系統(tǒng)維持液環(huán)穩(wěn)定性，兼具密封、冷卻及捕集可凝性氣體的功能。
3、系統(tǒng)集成設計
氣冷羅茨泵與液環(huán)泵串聯(lián)，液環(huán)泵作為前級泵優(yōu)先建立基礎真空；
控制系統(tǒng)根據(jù)真空度閾值自動切換兩級泵運行狀態(tài)。
二、工作流程
1、啟動階段
液環(huán)泵率先運行，液膜膨脹形成負壓，快速將系統(tǒng)壓力降至10^3 Pa量級；期間液環(huán)吸收氣體壓縮熱量，防止過熱。
2、主抽真空階段
當真空度達到預設值(約10^3~10^2 Pa)，氣冷羅茨泵啟動，轉子以3450~4100轉/分高速旋轉，擴大抽速并提升極限真空至10^-2 Pa量級；
冷卻氣體持續(xù)降低羅茨泵腔內溫度，相比傳統(tǒng)設計減少約30%熱負荷。
3、協(xié)同穩(wěn)壓階段
液環(huán)泵轉為輔助泵，處理羅茨泵排出的氣體并維持系統(tǒng)壓力平衡；
液環(huán)持續(xù)捕集粉塵或可凝蒸汽，保護羅茨泵免受污染。
三、技術優(yōu)勢
1、高效溫控：氣冷設計簡化散熱結構，避免傳統(tǒng)水冷系統(tǒng)的復雜管路，液環(huán)則通過循環(huán)液體進一步吸收殘余熱量；
2、耐污染性：液環(huán)泵前置過濾雜質，氣冷羅茨泵無油設計減少介質污染風險；
3、寬域適配：單級羅茨泵極限真空達6.5×10^-2 Pa，雙級泵可達1×10^-3 Pa，適用于化工、制藥等高純真空場景。
